ميكروسكوپ الكترونيكي پويشي، نوعي ميكروسكوپ الكترونيكي است كه در آن تصوير بيشتر بر اساس الكترون شكل مي گيرد و مزاياي زيادي نسبت به ميكروسكوپ هاي نوري دارد. اين سيستم به منظور مطالعه مستقيم در مورد سطوح جامدات طراحي شده است. از طريق يك پرتو الكتروني كه از طريق ميكروسكوپ تابانده شده است تصويري ايجاد مي شود كه مي توان آن را از طريق تلويزيون يا روش هاي ديگر مشاهده كرد. اين سيستم نسبت به ميكروسكوپ هاي نوري فوكوس بيشتري دارد، لذا تصوير بسيار خوبي از نمونه هاي سه بعدي ايجاد مي كند.طراحي SEM شبيه الكترون پروب ميكرو اناليز است ،ليكن ستون الكتروني و صفحه نمونه stage))به گونه اي طراحي شده اند تا تصاوير با قدرت تفكيك با به كار گيري سيگنال هاي گسيل يافته از الكترون برگشت يافته و ثانوي secoandrry)) بدست دهند هنگامي كه پرتوي الكتروني سراسر سطح نمونه را جاروب مي كند .به طور معمول نمونه ها از نظر شكل سه بعدي هستند(نه نه طور ضروري صيقل يافته)،و پرتوي الكتروني اغلب سراسر سطح نمونه را با زاويه متوسط برخورد حدود 45 درجه جارب مي كند. قدرت تفكيك تصوير بين 3 و7 نانومتر را مي توان با به كار گيري ولتاژ هاي شتاب دهنده الكترون بين 5 و 20 كيلو ولت بدست اورد.اندازه گيري تابش هاي پرتوي xدر اين تفكيك ثانوي است.
- بازدید: 6154
